六氯乙硅烷檢測 檢測背景
六氯乙硅烷是一種無色液體,具有強烈刺激性氣味,是一種重要的無機化合物,可用作化學試劑和合成硅單質的揮發性前體。六氯乙硅烷可通過硅化物氯化過程產生,例如二硅化鈣與氯氣反應生成。此外,它在空氣或氮氣中在高達400°C的溫度下可以穩定數小時,但在路易斯堿存在下會分解,這種轉化可用于制造半導體器件的硅基組件。
六氯乙硅烷的應用范圍主要集中在半導體、太陽能產業,作為薄膜沉積的前驅體,在半導體存儲和邏輯芯片制造技術中發揮著至關重要的作用。它還可以用于生產乙硅烷等產品,并在光纖、航空航天產業等領域有應用。
中科檢測是專業的檢測機構,可開展六氯乙硅烷檢測服務。
六氯乙硅烷檢測 檢測項目
六氯乙硅烷純度、鋁含量、鐵、鈦、鋰、鈉、鎂、鉀、鈣、鉻、錳、鈷、鎳、銅、鋅、砷、鉛
六氯乙硅烷檢測 檢測標準
GB/T 42720-2023 電子特氣 六氯乙硅烷
YS/T 1601-2023 六氯乙硅烷中雜質含量的測定 電感耦合等離子體質譜法
YS/T 1434-2021 六氯乙硅烷組分含量的測定 氣相色譜法
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