膜厚度檢測

中科檢測可提供膜厚度檢測服務，出具的膜厚度檢測報告具有CMA資質。

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膜厚度檢測介紹

膜層厚度是指基體上的金屬或非金屬覆蓋層的厚度，例如PCB板工藝中的Cu/Ni/Au層，合金上的Ni/Cr覆蓋層，塑料件上的金屬膜層，金屬上的油漆涂層等等。
漆膜涂層會對基材具有保護以及裝飾作用，由于涂層厚度不一，其保護性能也會有很大區別。
中科檢測可提供膜厚度檢測服務，出具的膜厚度檢測報告具有CMA資質。

膜厚度檢測方法

1、金相測膜厚度
被測樣品需要經垂直于待測膜層取樣進行金相制樣，再在金相顯微鏡下觀察并拍照測量待測膜層厚度。適用于測量厚度＞1μm的金屬膜層，可同時測量多層。
2、SEM測膜厚度
樣品前處理與金相測厚相同，配有能譜附件（EDS）的SEM設備可以確定每一層膜層的成分。此方法測試范圍寬，適用于測量厚度0.01μm~1mm的金屬或非金屬膜層。
3、熒光測厚度
使用XRF測厚儀測量，測量前需知道樣品的鍍膜工藝信息（如基材材料、膜層材料及順序）；此方法適用于測量厚度＞0.01μm的金屬膜層，可同時測量多層。
4、XPS深度剖析
XPS設備可以測試樣品極表面的元素成分（每次測量的信息深度為5nm左右），并且可以在樣品室內直接對樣品表面進行濺射，可以去除指定厚度（納米級）的表層物質，這兩個功能結合使用就可以測量出納米級膜層的厚度；此方法適用于測量納米級厚度的膜層。
5、臺階測厚方法
臺階儀測厚，對厚度的測量范圍較寬，0.1μm到10μm均能檢測；但對樣品的要求很高，膜層與基材之間必須有臺階，且表面光滑。

膜厚度檢測標準

GB/T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的測試光學反射法
GB/T 37361-2019 漆膜厚度的測定超聲波測厚儀法
GB/T 13452.2-2008 色漆和清漆漆膜厚度的測定
GB/T 8014-2005 鋁及鋁合金陽極氧化氧化膜厚度的測量方法
CB/T 3718-2016 船舶涂裝膜厚檢測要求
SJ/T 10171.1-1991 堿性蓄電池隔膜性能測試方法隔膜厚度的測定
YS/T 839-2012 硅襯底上絕緣體薄膜厚度及折射率的橢圓偏振測試方法
SH/T 0105-1992 溶劑稀釋型防銹油油膜厚度測定法
JB/T 7707-1995 離子鍍硬膜厚度試驗方法球磨法